TFT-LCD制造工藝流程

                                                                                                                                                                                                            文/三元晶

薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）通常采用兩個加工過程并行進行加工成成品,如圖1所示。其基本工藝如下：

                        圖1. TFT-LCD 工藝流程圖

● 通過前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過程形成精確排列的彩色濾光層。
● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶（TFT）陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個像素一般對應三個薄膜晶體管液晶（TFT）,每個像素控制一個共同構成一個像素的“色點”。薄膜形成工藝采用與半導體制造技術相類似的CVD、Etch及PVD等工藝技術。此類工藝步驟應反復數次,連續膜層方可形成一個功能元件（圖2）。

              圖2. TFT-LCD的典型陣列工藝步驟

● 兩塊基板合二為一,中間注入液晶材料。
● 最后組裝背光及驅動電子元件,制造出TFT-LCD 模塊。